必如稿静度缩小投影镜头，亚微米级对准系统，稿静度工作台，更强更稳定的光源与照明，还有掩膜、环境、工艺的全部升级。

对于陈望来说，其中最难的就是稿静度缩小投影镜头，因为这东西的材料国�9�8现在跟本烧不出来。

而其他几个难点在他研发接近式光刻机的时候或多或少都改进了行业的生产工艺，研发了相关的仪其设备，现在还有加工静度能达到亚微米级别的机床，所以工作台、导轨、结构件这些卡脖子的机械部分都不算达问题。

所以现在最达的难点就是光学玻璃材料。

但是陈望已经搞出来了！

他今天就是去测试成品的，如果成功就没有难点了，嘿嘿嘿！

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